和百级以上洁净间所采用的混流或乱流方式（即空气以不均匀的速度呈不平行流线流动）相比较，它具有效果完全、运转迅速稳定、粉尘堆集与再飘浮极少，以及管理容易等优点，但是设备造价非常高，维护费用也很高。
洁净度： 粒径大于等于0.1微米的最大微粒数不能大于100个。
压差及温湿度：温度22℃±2；湿度55%±5；基本需要满布ffu，做高架地板。
做MAU+ffu+DC系统。
还有保持正压，相邻房间压力梯度保证在10pa左右。
照度： 由于无尘洁净室的工作内容大多有精细的要求，而且又都是密闭性房屋，所以，对照明一向有很高的要求。
主要有以下几点： 局部照明：这是指为增加某一指定地点的照度而设置的照明。
但在室内照明中一般不单独使用局部照明。
混合照明：指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成照明，其中，一般照明的照度应占总照度的10%-15%。
根据《洁净厂房设计规范》编制组的调查，对工作认为比较合适的最低照度作了统计，其结果略高于150lx。
因此，将一般照明的下限值定为150lx是合适的，虽然在300lx时有更高的工作效率。
根据大量验收测定发现，最低照度值达到200lx以上就比较困难，实际上150lx已相当亮了，因为平均照度要高于它很多. 工作区内用平均照度意义不大，因为有若干点在150lx以下，就不适合工作。
对于特别要求高照度操盘点可以采用局部照明，而不宜普遍提高整个车间的最低照度标准。
除可利用局部照明外，必要时也可利用自然光，当平面上有外廊时就可以做到这一点。
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